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             厚度與TTV(總厚度變化)的指標隨著晶片尺寸不同而不同,詳細請看下表:

           

           直徑(mm)  50.8±0.2  100.0±0.2  150.0±0.2
           中心點厚度  0.430±0.015  0.650±0.02  1.300±0.02
           總厚度變化  ≤0.01  ≤0.02  ≤0.02

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