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主摻雜質、固態外擴散雜質、氣相自摻雜質、系統自摻雜質和金屬雜質等五類雜質源是外延層中的常見雜質。主摻雜質決定外延層的電阻率。固態外擴散、氣相自摻雜和系統自摻雜影響襯底界面附近的外延層雜質濃度的深度分布。金屬雜質在外延層中對器件有害。雜質濃度檢測對外延層的整體品質控制其著不可忽視的作用。
